Slāpekļa trifluorīds (NF3) augstas tīrības pakāpes gāze
Pamatinformācija
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Kas ir šis materiāls?
Slāpekļa trifluorīds (NF3) ir bezkrāsaina un bez smaržas gāze istabas temperatūrā un atmosfēras spiedienā. To var sašķidrināt zem mērena spiediena. NF3 ir stabils normālos apstākļos un viegli nesadalās. Tomēr tas var sadalīties, pakļaujot to augstām temperatūrām vai noteiktu katalizatoru klātbūtnē. NF3, nonākot atmosfērā, ir augsts globālās sasilšanas potenciāls (GWP).
Kur izmantot šo materiālu?
Tīrīšanas līdzeklis elektronikas nozarē: NF3 tiek plaši izmantots kā tīrīšanas līdzeklis atlikušo piesārņotāju, piemēram, oksīdu, noņemšanai no pusvadītāju virsmām, plazmas displeju paneļiem (PDP) un citiem elektroniskiem komponentiem. Tas var efektīvi notīrīt šīs virsmas, tās nesabojājot.
Kodināšanas gāze pusvadītāju ražošanā: NF3 izmanto kā kodināšanas gāzi pusvadītāju ražošanas procesā. Tas ir īpaši efektīvs silīcija dioksīda (SiO2) un silīcija nitrīda (Si3N4) kodināšanā, kas ir plaši izplatīti materiāli, ko izmanto integrālo shēmu ražošanā.
Augstas tīrības pakāpes fluora savienojumu ražošana: NF3 ir vērtīgs fluora avots dažādu fluoru saturošu savienojumu ražošanai. To izmanto kā prekursoru fluorpolimēru, fluorogļūdeņražu un īpašu ķīmisko vielu ražošanā.
Plazmas ģenerēšana plakano paneļu displeju ražošanā: NF3 tiek izmantots kopā ar citām gāzēm, lai izveidotu plazmu plakano ekrānu displeju, piemēram, šķidro kristālu displeju (LCD) un PDP, ražošanā. Plazma ir būtiska nogulsnēšanas un kodināšanas procesos paneļu izgatavošanas laikā.
Ņemiet vērā, ka īpašie pielietojumi un noteikumi šī materiāla/izstrādājuma lietošanai var atšķirties atkarībā no valsts, nozares un mērķa. Vienmēr ievērojiet drošības vadlīnijas un konsultējieties ar ekspertu pirms šī materiāla/produkta izmantošanas jebkurā pielietojumā.
